# 迈斯纳材料科技有限公司｜第一代 REBCO  超导 MOCVD 设备

> 作为国内首台实现REBCO超导带材稳定生长的自主化MOCVD设备，第一代产品以“打破国外垄断、验证国产化技术路线”为核心目标，承担起“从理论到实践”的关键使命如同半导体行业的实验室级外延装备，为后续规模化设备研发积累了宝贵的工程数据与工艺经验。

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# REBCO规模化制备型 MOCVD

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第一代REBCO

超导MOCVD设备

作为国内首台实现REBCO超导带材稳定生长的自主化MOCVD设备，第一代产品以“打破国外垄断、验证国产化技术路线”为核心目标，承担起“从理论到实践”的关键使命如同半导体行业的实验室级外延装备，为后续规模化设备研发积累了宝贵的工程数据与工艺经验。

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## 核心技术参数

精密环境控制

高真空腔体设计，漏率≤5x10-1°Pa·m/s，构建无氧纯净的薄膜生长环境，杜绝杂质污染

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精准温控体系

“接触加热电极+热电偶+红外”复合测温装置，实现800-950°C生长温度的精准调控，波动≤±3°C

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稳定工艺保障

定制化匀气系统消除气流死角，形成均匀层流场；自动反馈控制系统一体化调控结晶度、厚度及界面质量，确保工艺重复性

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开放适配设计

参数调节范围广，支持多种REBCO体系带材研发，为科研机构、高校提供灵活的试验平台

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迈斯纳材料自主设计并搭建的第一代REBCO超导MOCVD设备实现了米级YBCO带材稳定生长，工程电流密度(Jc)最高400A/cm(@77K，自场)打破了PLD技术t路线中准分子激光器“卡脖子”现状，实现我国超导MOCVD设备“零的突破”，为迈斯纳的国产化技术路线的可行性提供了核心支撑

## 合作客户案例

MOCVD一代用户案例：中国科学院赣江创新研究院

2024年3月，由迈斯纳材料科技完全自主研发的第一代REBCO带材MOCVD设备正式交付并入驻中国科学院下属研究机构，成功完成装机，此举标志着我国在高温超导核心制备装备领域实现了零的突破。

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为了⼈类⼼智的荣耀

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