REBCO 规模化制备型 MOCVD
第二代 REBCO
超导 MOCVD 设备
第二代REBCO超导MOCVD设备直接面向可控核聚变、超导电缆、超导磁悬浮等领域对长带材的规模化需求，以“高良率、低成本、长周期稳定”为核心目标，完成从“实验室装备”到“量产装备”的突破，全面适配产业化生产需求。
核心技术参数
规模化生长保障
新版走带装置+7通道分级沉积，实现主相、掺杂、包覆层精准分步沉积（化学计量比偏差≤±2%），支持4-12mm宽带材定制
卷对卷（Roll-to-Roll）传送搭配双闭环控偏，跑偏量≤0.1mm/m，张力波动≤ ±0.2N，保障百米-公里级连续生长无划伤
精密协同控制
PLC+高精度PID毫秒级响应，可快速加热至950℃，控温精度达±0.1℃，实现走带速度、流量、温度闭环联动，参数长期稳定性提升50%，72h连续运行无故障
成本优势显著
设备造价较进口设备降低50%，带材单米制备成本下降50%：兼容自主高纯有机源，进一步提升原料利用率
高量产良率
单台产能600km/年，综合良率大幅提升，解决国内300-500米级带材批量制备良率瓶颈
自主闪蒸技术
自下而上的有机源闪蒸输送方式为独立自主设计，强化有机源汽化均匀性，减少蒸汽冷凝损耗，大幅提升有机源利用率
第二代REBCO超导MOCVD设备，可连续生长百米级REBCO高温超导带材，综合良率 大幅提升;解决了国内百米级带材批量制备的良率瓶颈并将设备成本较进口设备降低 50%以上，带材单米制备成本下降50%，推动了我国高温超导产业从示范工程走向规 模化应用，为超导产业的发展提供了核心装备支撑
构成系统介绍
Introduction to the Composition System
真空系统
三腔联用（放料腔、外延腔、收料腔），极限真空5×10⁻⁵ Pa，工艺真空调节精度±1 Pa，为高质量外延提供洁净、稳定的基础环境。
传动系统
耐高温合金+陶瓷材料，4–12 mm 多通道宽度可调；张力控制≤10 N，速度0–500 m/h连续可调，满足柔性带材精密走带需求。
加热系统
20kW 加热电源，最高温度1100 ℃，控温精度±0.1 ℃。碳化硅棒差分模块化设计，温场均匀，清理与更换极为便捷。
外延生长系统
核心匀气盘为迈斯纳自研：密封一体结构，喷淋孔密度高达16 孔/cm²（Φ0.5 mm）。配合多层耦合式设计，实现高度均匀的流场与沉积。
有机源输送系统
独创自下而上稳压传输，独立加热与测温；有机源利用率高达30%，显著降低运行成本，保障长期工艺一致性。
高温氧气氛退火模块
可选配联用型退火模块，最高温度1100 ℃，最高压力10 MPa，实现超导带材原位高性能后处理。
控制系统
全自研控制系统，实时显示压力、温度、传动、水冷、尾气、流量等关键参数，并集成软件图像处理功能，工艺监控与追溯更智能。
水冷及尾气处理系统
水冷系统5–30 ℃可调，温差±0.5 ℃；尾气处理系统最高温度1400 ℃，确保设备长期安全、环保运行。